La fabrication de microélectronique est le principal moteur des besoins futurs en matière de technologie de filtration. Forts de leur longue expérience, nos ingénieurs en recherche et développement sont prêts à relever ces défis extrêmes pour les environnements dits miniatures - qui doivent être pratiquement exempts de particules de poussière.
Filtration de l'air dans la production de puces électroniques
La production de microélectronique exige un environnement extrêmement propre, car même les plus petites particules peuvent avoir un impact considérable sur la fonctionnalité et la qualité des puces semi-conductrices. Ces exigences élevées font de la filtration de l'air un élément essentiel de la production.
Défis et exigences de la filtration de l'air
Les processus de fabrication de micropuces, en particulier dans les Salles propres, exigent une atmosphère pratiquement exempte de particules et de germes. Même un grain de poussière de quelques micromètres de diamètre peut entraîner des défauts dans la structure microscopique d'une puce. Les facteurs critiques pour la filtration de l'air dans ce domaine sont les suivants :
- Absence de particules: l'air doit être débarrassé de toutes les impuretés, y compris la poussière, les aérosols et les résidus chimiques.
- Contrôle des micro-organismes: les bactéries ou les spores de champignons ne doivent pas être présentes dans l'air afin d'éviter les contaminations et les pertes de qualité.
- Débit d'air contrôlé: les turbulences ou les mouvements d'air irréguliers peuvent entraîner l'inclusion de particules, d'où la nécessité de systèmes de débit laminaires.
- Pureté chimique: les gaz ou les émanations de matériaux présents dans l'environnement doivent être éliminés afin d'éviter des réactions indésirables ou l'oxydation de composants sensibles.
Technologies de filtration de l'air
Pour répondre à ces exigences, des systèmes de filtration spéciaux sont utilisés :
- Les filtres HEPA et ULPA (High-Efficiency Particulate Air et Ultra-Low Penetration Air) éliminent plus de 99,9995 % des particules jusqu'à un niveau inférieur au micromètre.
- Les filtres à charbon actif absorbent les impuretés gazeuses et protègent la production contre les influences chimiques.
- Les filtres à ionisation et à plasma sont utilisés pour neutraliser les contaminations organiques et microbiennes.
Importance pour la production de micropuces
Le développement de puces semi-conductrices toujours plus petites et plus performantes exige des normes de pureté de plus en plus élevées. La miniaturisation conduit à des structures de l'ordre du nanomètre, ce qui fait que même les molécules en suspension dans l'air peuvent représenter un risque potentiel. La technologie des salles blanches doit donc évoluer en permanence pour répondre aux exigences croissantes de la microélectronique.
Grâce à des technologies de filtrage de pointe, nous pouvons garantir que les environnements de production répondent aux normes de pureté les plus strictes et que la qualité des micro-puces reste élevée.
