Výroba mikroelektroniky je největší hnací silou budoucích požadavků na filtrační technologie. Díky svým dlouholetým zkušenostem jsou naši výzkumní a vývojoví inženýři připraveni čelit těmto extrémním výzvám pro tzv. miniprostředí - která musí být prakticky bez prachových částic.
Filtrace vzduchu při výrobě mikročipů
Výroba mikroelektroniky vyžaduje extrémně čisté prostředí, protože i ty nejmenší částice mohou výrazně zhoršit funkčnost a kvalitu polovodičových čipů. Díky těmto vysokým požadavkům je filtrace vzduchu nezbytnou součástí výroby.
Výzvy a požadavky na filtraci vzduchu
Výrobní procesy mikročipů, zejména v čistých prostorech, vyžadují prostředí, které je prakticky bez částic a zárodků. I prachová částice o průměru pouhých několika mikrometrů může vést k defektům v mikroskopicky malé struktuře čipu. Rozhodujícími faktory pro filtraci vzduchu v této oblasti jsou
- Bez částic: Vzduch musí být bez jakýchkoli nečistot, včetně prachu, aerosolů a zbytků chemických látek.
- Kontrola mikroorganismů: Ve vzduchu nesmí být přítomny bakterie nebo spory hub, aby nedošlo ke kontaminaci a ztrátě kvality.
- Řízené proudění vzduchu: Turbulence nebo nerovnoměrný pohyb vzduchu mohou vést k zachycení částic, proto jsou vyžadovány systémy laminárního proudění.
- Chemická čistota: Plyny nebo páry z materiálů v prostředí musí být odstraněny, aby se zabránilo nežádoucím reakcím nebo oxidaci citlivých složek.
Technologie filtrace vzduchu
Ke splnění těchto požadavků se používají speciální filtrační systémy:
- Filtry HEPA a ULPA ( High-Efficiency Particulate Air a Ultra-Low Penetration Air) odstraňují více než 99,9995 % částic až do velikosti submikrometrů.
- Filtrační vložky s aktivním uhlím pohlcují plynné nečistoty a chrání výrobu před chemickými vlivy.
- Ionizační a plazmové filtry se používají k neutralizaci organického a mikrobiálního znečištění.
Význam pro výrobu mikročipů
Vývoj stále menších a výkonnějších polovodičových čipů vyžaduje stále vyšší standardy čistoty. Miniaturizace vede ke vzniku struktur v rozsahu nanometrů, což znamená, že i molekuly ve vzduchu mohou představovat potenciální riziko. Technologie čistých prostor se proto musí nadále vyvíjet, aby splňovala rostoucí požadavky mikroelektroniky.
Díky nejnovějším filtračním technologiím můžeme zajistit, aby výrobní prostředí splňovalo přísné požadavky na čistotu a aby byla zaručena trvale vysoká kvalita mikročipů.
