Produkcja mikroelektroniki jest największą siłą napędową przyszłych wymagań w zakresie technologii filtrów. Dzięki wieloletniemu doświadczeniu nasi inżynierowie ds. badań i rozwoju są przygotowani do sprostania tym ekstremalnym wyzwaniom dla tak zwanych mini-środowisk - które muszą być praktycznie wolne od cząstek pyłu.

Filtracja powietrza od produkcji mikrochipów

Produkcja mikroelektroniki wymaga niezwykle czystego środowiska, ponieważ nawet najmniejsze cząsteczki mogą znacząco pogorszyć funkcjonalność i jakość chipów półprzewodnikowych. Te wysokie wymagania sprawiają, że filtracja powietrza jest istotną częścią produkcji.

Wyzwania i wymagania związane z filtracją powietrza

Procesy produkcji mikroprocesorów, zwłaszcza w pomieszczeniach czystych, wymagają atmosfery praktycznie wolnej od cząstek i zarazków. Nawet cząsteczka kurzu o średnicy zaledwie kilku mikrometrów może prowadzić do defektów w mikroskopijnie małej strukturze układu scalonego. Czynniki krytyczne dla filtracji powietrza w tym obszarze są następujące

• Brak cząstek: powietrze musi być wolne od wszelkich zanieczyszczeń, w tym kurzu, aerozoli i pozostałości chemicznych.
• Kontrola mikroorganizmów: Bakterie lub zarodniki grzybów nie mogą być obecne w powietrzu, aby uniknąć zanieczyszczenia i utraty jakości.
• Kontrolowany przepływ powietrza: Turbulencje lub nierównomierny ruch powietrza mogą prowadzić do uwięzienia cząstek, dlatego wymagane są systemy z przepływem laminarnym.
• Czystość chemiczna: Gazy lub opary od materiałów znajdujących się w otoczeniu muszą być usuwane, aby zapobiec niepożądanym reakcjom lub utlenianiu wrażliwych komponentów.

Technologie filtracji powietrza

Aby spełnić te wymagania, stosowane są specjalne systemy filtracji:

• Filtry HEPA i ULPA (High-Efficiency Particulate Air i Ultra-Low Penetration Air) usuwają ponad 99,9995% cząstek stałych do zakresu submikrometrowego.
• Filtry zwęglem aktyw nym pochłaniają zanieczyszczenia gazowe i chronią produkcję przed wpływami chemicznymi.
• Filtry jonizacyjne i plazmowe służą do neutralizacji zanieczyszczeń organicznych i mikrobiologicznych.

Znaczenie dla produkcji mikroprocesorów

Rozwój coraz mniejszych i bardziej wydajnych chipów półprzewodnikowych wymaga coraz wyższych standardów czystości. Miniaturyzacja prowadzi do struktur w zakresie nanometrów, co oznacza, że nawet cząsteczki w powietrzu mogą stanowić potencjalne zagrożenie. Technologia pomieszczeń czystych musi zatem stale ewoluować, aby sprostać rosnącym wymaganiom mikroelektroniki.

Dzięki najnowszym technologiom filtracji możemy zapewnić, że środowiska produkcyjne spełniają surowe wymagania dotyczące czystości i że gwarantowana jest niezmiennie wysoka jakość mikrochipów.