微电子制造是未来过滤器技术要求的最大驱动力。凭借多年的经验，我们的研发工程师已经做好准备，迎接这些所谓微型环境的极端挑战--这些环境必须几乎没有灰尘颗粒。
微电子生产中的空气过滤
微电子生产需要极其洁净的环境，因为即使是最小的颗粒也会严重影响半导体芯片的功能和质量。这些高要求使得空气过滤成为生产中必不可少的一部分。
空气过滤的挑战和要求
微芯片生产过程，尤其是洁净室的生产过程，需要一个几乎没有颗粒和病菌的环境。即使是直径只有几微米的灰尘颗粒，也会导致芯片微小结构的缺陷。该领域空气过滤的关键因素是
- 无颗粒：空气中必须没有任何污染物，包括灰尘、气溶胶和化学残留物。
- 微生物控制：空气中不能有细菌或真菌孢子，以避免污染和质量损失。
- 受控气流：湍流或不均匀的气流运动会导致微粒夹带，因此需要使用层流系统。
- 化学纯度：必须去除环境中材料产生的气体或蒸汽，以防止敏感组件发生不必要的反应或氧化。
空气过滤技术
为满足这些要求，需要使用特殊的过滤系统：
- HEPA 和 ULPA 过滤器（高效微粒空气过滤器和超低渗透空气过滤器）可去除 99.9995 % 以上的微粒，最小可达亚微米范围。
- 活性炭过滤器可吸收气体污染物，保护生产免受化学影响。
- 电离和等离子过滤器用于中和有机物和微生物污染。
对生产微型芯片的重要性
随着半导体芯片体积越来越小、功能越来越强大，对纯度的要求也越来越高。微型化导致结构达到纳米级，这意味着即使是空气中的分子也会带来潜在风险。因此，洁净室技术必须不断发展，以满足微电子日益增长的需求。
得益于最新的过滤技术，我们可以确保生产环境满足严格的洁净度要求，并保证微芯片始终保持高质量。
