O fabrico de microeletrónica é a maior força motriz para os futuros requisitos da tecnologia de filtragem. Com os seus muitos anos de experiência, os nossos engenheiros de investigação e desenvolvimento estão preparados para enfrentar estes desafios extremos para os chamados mini-ambientes - que devem estar praticamente livres de partículas de pó.
Filtragem do ar na produção de microchips
A produção de microeletrónica requer um ambiente extremamente limpo, uma vez que mesmo as partículas mais pequenas podem prejudicar significativamente a funcionalidade e a qualidade dos chips semicondutores. Estes elevados requisitos tornam a filtragem do ar uma parte essencial da produção.
Desafios e requisitos da filtragem do ar
Os processos de produção de microchips, especialmente em salas limpas, requerem uma atmosfera praticamente livre de partículas e germes. Mesmo uma partícula de poeira com um diâmetro de apenas alguns micrómetros pode levar a defeitos na estrutura microscopicamente pequena de um chip. Os factores críticos para a filtragem do ar nesta área são
- Livre de partículas: o ar deve estar livre de quaisquer contaminantes, incluindo poeiras, aerossóis e resíduos químicos.
- Controlo de microrganismos: as bactérias ou os esporos de fungos não devem estar presentes no ar para evitar a contaminação e a perda de qualidade.
- Fluxo de ar controlado: A turbulência ou o movimento irregular do ar pode levar ao aprisionamento de partículas, razão pela qual são necessários sistemas de fluxo laminar.
- Pureza química: Os gases ou vapores dos materiais presentes no ambiente devem ser removidos para evitar reacções indesejadas ou a oxidação de componentes sensíveis.
Tecnologias de filtragem do ar
Para cumprir estes requisitos, são utilizados Sistemas de Filtragem especiais:
- Os filtros HEPA e ULPA (High-Efficiency Particulate Air e Ultra-Low Penetration Air) removem mais de 99,9995% das partículas até à gama sub-micrométrica.
- Os Filtros de Carvão Ativado absorvem os contaminantes gasosos e protegem a produção das influências químicas.
- Os filtros de ionização e plasma são utilizados para neutralizar a contaminação orgânica e microbiana.
Importância para a produção de microchips
O desenvolvimento de chips semicondutores cada vez mais pequenos e mais potentes exige padrões de pureza cada vez mais elevados. A miniaturização conduz a estruturas na gama dos nanómetros, o que significa que mesmo as moléculas no ar podem constituir um risco potencial. A tecnologia de salas limpas deve, portanto, continuar a evoluir para responder às crescentes exigências da microeletrónica.
Graças às mais recentes tecnologias de filtragem, podemos assegurar que os ambientes de produção cumprem os rigorosos requisitos de limpeza e que é garantida uma qualidade elevada e constante dos microchips.
